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ECR等离子体辅助原子层沉积Al_2O_3薄膜的研究及其参数诊断
ECR等离子体辅助原子层沉积Al_2O_3薄膜的研究及其参数诊断
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作者: 桑利军 北京印刷学院
学位级别:硕士
由于超薄氧化铝薄膜在微电子方面的应用越来越广泛,所以对它的制备方法的研究和改良也越来越吸引人们去研究。目前以金属有机源为单体制备超薄氧化铝薄膜的方法主要有原子层沉积(ALD)、金属有机源化学气相沉积(MOCVD),分子束外延(MBE)... 详细信息
来源: 同方学位论文库 同方学位论文库 评论
等离子体基离子注入电压对碳膜化学结构及摩擦学性能的影响
等离子体基离子注入电压对碳膜化学结构及摩擦学性能的影响
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青年摩擦学者与“十二五”发展——2011年全国青年摩擦学与表面工程学术会议
作者: 王玉江 马欣新 唐光泽 徐滨士 装甲兵工程学院装备再制造技术国防科技重点实验室 哈尔滨工业大学材料科学与工程学院
以乙炔为气源,用等离子体基离子注入(plasma-based ion implantation,PBII)技术在1Cr18Ni9Ti不锈钢基体表面制备了一系列碳膜,并研究了注入电压对碳膜化学结构及摩擦学特性的影响规律。通过X射线光电子谱(XPS)及激光喇曼光谱(Raman)方... 详细信息
来源: 同方会议论文 评论
Nb 3d and O 1s core levels and chemical bonding in niobates
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Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena 2005年 第2期142卷 129-134页
作者: Atuchin, V. V. atuchin@thermo.isp.nsc.ru Kalabin, I. E. Kesler, V. G. Pervukhina, N. V. Lab. of Optical Mat. and Structures Institute of Semiconductor Physics SB RAS Novosibirsk 630090 Russia Russian Federation Technical Center Institute of Semiconductor Physics SB RAS Novosibirsk 630090 Russia Russian Federation Laboratory of Crystal Chemistry Institute of Inorganic Chemistry SB RAS Novosibirsk 630090 Russia Russian Federation
A set of available experimental data on binding energies of Nb 3d(5/2) and O 1s core levels in niobates has been observed with using energy difference (O 1s-Nb 3d(5/2)) as a robust parameter for compound characterizat... 详细信息
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Influence of the cerium precursor on the physico-chemical features and NO to NO2 oxidation activity of ceria and ceria–zirconia catalysts
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Journal of Molecular Catalysis A: Chemical 2010年 第1–2期323卷 52-58页
作者: Noelia Guillén-Hurtado Idriss Atribak Agustín Bueno-López Avelina García-García MCMA Group Department of Inorganic Chemistry Faculty of Sciences University of Alicante Campus Sant Vicent s/n Ap. 99-E-03080 Alicante Spain
The preparation of Ce0.80Zr0.20O2 mixed oxides was conducted by coprecipitation, using either Ce(NO3)3·6H2O or (NH4)2Ce(NO3)6 as cerium precursor. Their counterpart pure ceria samples were also prepared for comparati... 详细信息
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轻稀土氯化物与2,3,11,12—四苯基—1,4,7,10,13,16—六氧—2,11—
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化学学报 1989年 第6期47卷 543-547页
作者: 王静秋 郑兆佳 司玲 武汉大学化学系 武汉大学化学系 武汉
本工作合成了轻稀土氯化物与题目不饱和冠醚所形成的三种新的轻稀土配合物。元素分析数据说明稀土氯化物与配体的化学配比是1:1。我们着重对这些配合物进行了X射线光电子能谱研究,得到了组成原子芯能级电子(Ln 3d5/2,O 1s,C 1s,Cl 2p)... 详细信息
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A comparison of the kinetics and mechanism of acid leaching of sphalerite containing low and high concentrations of iron
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International Journal of Mineral Processing 2004年 第1期74卷 239-249页
作者: Weisener, Christopher G. Smart, Roger St.C. Gerson, Andrea R. Andrea.Gerson@unisa.edu.au Ian Wark Research Institute University of South Australia Mawson Lakes SA 5095 Adelaide Australia
The leaching behaviour of three Fe-containing sphalerite minerals (0.45, 11.40, and 12.90 wt.% Fe) was investigated at pH 1 in O2-purged HClO4 from 25 to 85 °C. For all three sphalerite samples, the leach data closel... 详细信息
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The initial stages of graphite formation on the diamond (100) 2×1 surface
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Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena 2006年 第1期152卷 33-36页
作者: Haines, S.R. Williams, K.H. Almond, N. Schwitters, M. Martin, D.S. Butler, J.E. Weightman, P. peterw@liverpool.ac.uk Physics Department University of Liverpool Liverpool L69 3BX UK Code 6174 Naval Research Laboratory Washington DC 20375 USA
Abstract: A precursor site which is likely to be involved in the formation of graphite on the diamond (100) 1×2 surfaces has been created by bombardment with low energy Ar ions and characterised by high resolution X-... 详细信息
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Rearrangements of sp2/sp3 hybridized bonding with phosphorus incorporation in pulsed laser deposited semiconducting carbon films by X-ray photoelectron spectroscopic analysis
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Diamond and related materials 2006年 第11期15卷 1795-1798页
作者: Mominuzzaman, Sharif Mohammad momin@eee.buet.ac.bd Alam, Mahbub Soga, Tetsuo Jimbo, Takashi Department of Environmental Technology and Urban Planning Nagoya Institute of Technology Gokiso-cho Showa-ku Nagoya 466-8555 Japan Department of Electrical and Electronic Engineering Bangladesh University of Engineering and Technology Dhaka-1000 Bangladesh
Abstract: The carbon films were grown on p-type silicon substrate at room temperature by pulsed (XeCl) laser deposition technique using camphoric carbon target containing 1%, 3%, 5% and 7% of phosphorus (P) by mass. T... 详细信息
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Carbon incorporation and deactivation of MgO(001) supported Pd nanoparticles during CO oxidation
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Catalysis today 2009年 第3期145卷 243-250页
作者: Nolte, P. Stierle, A. stierle@mf.mpg.de Balmes, O. Srot, V. van Aken, P.A. Jeurgens, L.P.H. Dosch, H. Max-Planck-Institute for Metals Research Heisenbergstr. 3 D-70569 Stuttgart Germany European Synchrotron Radiation Facility B. P. 220 38043 Grenoble Cedex 9 France
Abstract: We have investigated the structure and composition of the model catalyst system Pd/MgO(001) during oxidation, CO reduction and CO oxidation at near atmospheric pressures by a combination of in situ X-ray dif... 详细信息
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Severe corrosion behavior of Fe78Si9B13 glassy alloy under magnetic field
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Journal of non-crystalline solids 2014年 392–393卷 51-58页
作者: Y.J. Li B. An Y.G. Wang Y. Liu H.D. Zhang X.G. Yang W.M. Wang Key Laboratory for Liquid–Solid Structural Evolution and Processing of Materials Ministry of Education Shandong University Jinan 250061 China Institute for Fluid Dynamics Technische Universitaet Dresden 01069 Dresden Germany
Highlights • Added magnetic field induces a severe corrosion behavior of Fe-based glassy ribbons. • Magnetic field decreases the charge transfer resistance. • Magnetic field triggers the occurrence of filiform corrosi... 详细信息
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