咨询与建议

限定检索结果

文献类型

  • 48 篇 期刊文献
  • 17 篇 学位论文
  • 8 篇 会议

馆藏范围

  • 73 篇 电子文献

日期分布

学科分类号

  • 49 篇 工学
    • 22 篇 材料学
    • 22 篇 电子信息类
    • 7 篇 机械学
    • 1 篇 仪器类
    • 1 篇 电气类
    • 1 篇 轻工类
    • 1 篇 核工程类
  • 24 篇 理学
    • 19 篇 物理学类
    • 5 篇 化学类
  • 3 篇 教育学
  • 1 篇 医学
    • 1 篇 临床医学类

主题

  • 73 篇 磁控溅射沉积
  • 5 篇 结构
  • 5 篇 薄膜
  • 5 篇 薄膜技术
  • 4 篇 应用
  • 4 篇 摩擦系数
  • 4 篇 显微硬度
  • 4 篇 氧化锌
  • 4 篇 氮离子注入
  • 3 篇 光学性质
  • 3 篇 氮化钛
  • 3 篇 磁控溅射技术
  • 3 篇 英文
  • 2 篇 x射线衍射
  • 2 篇 光学性能
  • 2 篇 光电特性
  • 2 篇 力学性能
  • 2 篇 半导体薄膜
  • 2 篇 基体温度
  • 2 篇 基片温度

机构

  • 3 篇 武汉理工大学
  • 2 篇 中国科学院物理研...
  • 2 篇 哈尔滨工业大学
  • 2 篇 浙江大学
  • 1 篇 中国工程物理研究...
  • 1 篇 changchun instit...
  • 1 篇 college of mater...
  • 1 篇 composite resear...
  • 1 篇 department of ma...
  • 1 篇 department of ph...
  • 1 篇 evatec ltd., loc...
  • 1 篇 institute of sem...
  • 1 篇 keylaboratoryfor...
  • 1 篇 national key lab...
  • 1 篇 nationalkeylabor...
  • 1 篇 state key labora...
  • 1 篇 上海工程技术大学...
  • 1 篇 不详
  • 1 篇 东北农业大学
  • 1 篇 东南大学电子系统...

作者

  • 5 篇 李忠文
  • 4 篇 吕学超
  • 4 篇 唐光泽
  • 4 篇 马欣新
  • 3 篇 任大鹏
  • 3 篇 张永彬
  • 3 篇 鲜晓斌
  • 2 篇 贾正根
  • 1 篇 bian hai-jiao(卞...
  • 1 篇 guguang-rui
  • 1 篇 han jie-cai(韩杰...
  • 1 篇 he xiao-dong(赫晓...
  • 1 篇 hezhi
  • 1 篇 huang jing-yun(黄...
  • 1 篇 jin zeng-sun(金曾...
  • 1 篇 li jun-jie(李俊杰...
  • 1 篇 lijun-jie
  • 1 篇 liwei-qing
  • 1 篇 liying-ai
  • 1 篇 ma de-wei(马德伟...

语言

  • 73 篇 中文
检索条件"主题词=磁控溅射沉积"
73 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
Cu2ZnSnS(Se)4薄膜太阳电池的特性对材料组分依赖性研究
Cu2ZnSnS(Se)4薄膜太阳电池的特性对材料组分依赖性研究
收藏 引用
作者: 何俊 华东师范大学
学位级别:博士
近十年,Cu2ZnSn(S,Se)4 (CZTSSe)作为薄膜太阳电池的吸收层材料受到了广泛的关注。CZTSSe薄膜太阳电池是在Cu(In,Ga)Se2(CIGS)薄膜太阳电池的基础上发展而来。CZTSSe薄膜材料具有高的吸收系数(>104cm-1),适合的光学带隙(1.0 eV-1.5 eV)... 详细信息
来源: 同方学位论文库 同方学位论文库 评论
钛合金表面仿生多层膜的构建及其生物摩擦学特性研究
钛合金表面仿生多层膜的构建及其生物摩擦学特性研究
收藏 引用
第十二届设计与制造前沿国际会议(ICFDM2016)
作者: 丁红燕 淮阴工学院
目依据生物仿生学原理,构建类贝壳珍珠层结构的仿生多层膜,解决影响生物陶瓷涂层脆性大、厚度小、残余应力大、难以实际应用的缺点.采用磁控溅射沉积技术在医用钛合金表面制备(Ti/TiB2)n纳米结构仿生多层膜,改善薄膜的塑性、韧性以及与... 详细信息
来源: 万方会议 评论
磁控溅射沉积固体电解质钛酸镧锂薄膜的研究
磁控溅射沉积固体电解质钛酸镧锂薄膜的研究
收藏 引用
作者: 熊玉立 武汉理工大学
学位级别:硕士
电解质层是电致变色器件的重要组成部分,其中锂离子固体电解质钛酸镧锂(LLTO)是文献报道中室温离子电导率最高的电解质材料之一,其离子电导率高达10-3 S cm-1,但是作为薄膜材料的LLTO薄膜的离子电导率则一般只有10-6 S cm-1。采用合... 详细信息
来源: 万方学位论文库 万方学位论文库 同方学位论文库 同方学位论文库 评论
磁控溅射沉积氧化铟薄膜及其TFT器件应用研究
磁控溅射沉积氧化铟薄膜及其TFT器件应用研究
收藏 引用
作者: 原子健 浙江大学
学位级别:硕士
薄膜晶体管在有源矩阵寻址液晶显示器(AMLCD)中处于关键地位,它的研发历来是该领域研究中的重点。非晶硅薄膜晶体管(α-Si TFT)易于在低温下大面积制备,技术成熟,是目前使用最广的技术。但由于α-Si材料的禁带宽度只有1.7eV,在可见光波... 详细信息
来源: 万方学位论文库 万方学位论文库 评论
激光技术在薄膜科学中的应用
收藏 引用
现代物理知识 2007年 第5期19卷 38-39页
作者: 陈兴 张霆 方尚旭 罗乐 安徽省合肥工业大学理学院 安徽省合肥工业大学理学院 230009
膜的一维尺寸大大小于其余两维。一般把厚度小于1μm的膜称为薄膜,反之则称为厚膜。由于薄膜材料具有许多优异性能,因此近年来薄膜科学的发展极为迅速,涌现出许多薄膜制备技术与方法,如真空蒸发沉积磁控溅射沉积、离子束溅射沉积... 详细信息
来源: 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 万方期刊数据库 万方期刊数据库 评论
离子束电子束多功能材料表面处理设备
收藏 引用
核技术 1988年 第8期 33-37页
作者: 黄宁康 王明华 申勇 王贤恩 郭华聪 四川大学原子核科学技术研究所 四川大学原子核科学技术研究所
本设备由以下系统组成:注入系统,有溅射离子源及不对称三电极加速管,能量50keV,流强4mA(N~+);电子束系统,能量45keV,功率密度10~2—10~6W/ cm~2;配备微机程序的束偏摆装置;靶材易换的磁控溅射靶;可作旋转、平移、升降等机械运动的高真... 详细信息
来源: 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
Co/NM/FM(NiFe and Co)纳米多层膜的层间耦合效应
收藏 引用
中国航空学报:英文版 2003年 第4期16卷 253-256页
作者: 马晓艳 毕晓昉 宫声凯 徐惠彬 Department of Materials Science and Engineering Beijing University of Aeronautics and Astronautics Beijing 100083 China
巨磁电阻自旋阀多层膜作为磁敏传感器材料与磁随机存储器 (MRAM)材料 ,具有高的可靠性与灵敏度 ,在航空航天等高科技领域有着极大的应用前景。研究多层膜各层间的耦合效应与各层厚度、磁学性能之间的内在关系 ,对提高自旋阀的巨磁电阻... 详细信息
来源: 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 万方期刊数据库 万方期刊数据库 评论
高温超导薄膜YBa<,2>Cu<,3>O<,7-x>a轴取向的X射线分析
高温超导薄膜YBa<,2>Cu<,3>O<,7-x>a轴取向的X射线分析
收藏 引用
第三届全国超导薄膜和超导器件学术会议
作者: 陈红 董成 科学院物理研究所国家超导实验室(北京)
来源: 万方会议 评论
反应磁控溅射沉积Ti_xAl_yN_z热控薄膜研究
收藏 引用
真空与低温 2005年 第1期11卷 34-39页
作者: 李智 崔敬忠 李冠斌 梁耀廷 兰州物理研究所 兰州物理研究所 甘肃兰州730000
采用反应磁控溅射技术,以Ti和Al为溅射靶材料,Ar和N2为溅射气体,在Al基底上沉积TixAlyNz热控薄膜。优化制备薄膜的最佳实验条件。对薄膜进行XRD、XPS分析及热光学测试,研究了TixAlyNz薄膜的结构特点及热光学特性。结果表明,采用独立Ti... 详细信息
来源: 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 万方期刊数据库 万方期刊数据库 评论
GCr15钢表面钽沉积及氮离子注入的磨损性能
收藏 引用
稀有金属材料与工程 2010年 第A01期39卷 77-80页
作者: 李忠文 唐光泽 马欣新 哈尔滨工业大学 黑龙江哈尔滨150001
利用磁控溅射法存GCr15轴承钢表面沉积厚约100nm的钽膜,然后对其进行氮等离了体基离子注入,注入能量为50keV,利用GXRD分析改性层的组成相结构,用Ф6mm的氮化硅球作为对磨件测试处理后试样的磨损性能,并利用SEM结合EDX观测磨痕的形... 详细信息
来源: 维普期刊数据库 维普期刊数据库 评论