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微型构件机械物理性能研究

作者: 蒋国钰
介绍:研究了微型机械构件机械物理性能及其测试方法。提出了通过测量微梁的谐振频率和微膜的载荷—变形特性获取微型构件机械物理性能的两种方法;制作了单晶硅、多晶硅、氧化硅、氮化硅等微梁、膜等测试构件;导出了具有压缩残余内应力和初始挠度的方膜的载荷—变形关系;研制了谐振频率法微构件机械物理性能测试系统。通过测量微梁的谐振频率,分别求弹性模量和残余内应力,并通过...展开
主题:微型电子机械系统 微型机械电子系统 微结构设计 材料微结构 纳米微结构 机械运动特性 机械特性参数
文献总量:1085 期刊文献:624 学位论文:439 图书:21 标准:1 本周更新量:13
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微机械及其特性
《微纳电子技术》  1997.1001-5507
机械传动特性及其应用
楼家法 
《高压电器技术》  1991.
机械振动台振动特性研究
林颖 
《精密制造与自动化》  2003.1009-962X
机械故障时序诊断特性研究
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旋转机械整机固有特性分析
杨建国 夏松波 刘永光 邢乃义 
《汽轮机技术》  1998.1001-5884
双光路双波长相移干涉显微法测量衍射光学元件形貌
周明宝 林大键 白临波 
《光学学报》  2000.0253-2239
普通光学显微镜和干涉滤光片(Kawamoto法)对疟原虫的观察
许国君 康杨 肖宁 
《寄生虫病与感染性疾病》  1994.1005-2534
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